发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING HIGH-FREQUENCY CIRCUIT ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07335544(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940132315 申请日期 1994.06.14
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 HIRATSUKA RYUICHI
分类号 H01L27/06;H01L21/06;H01L21/338;H01L21/8232;H01L25/00;H01L29/812;H03H3/08;(IPC1-7):H01L21/06;H01L21/823 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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