发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07335736(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940132967 申请日期 1994.06.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YABU TOSHIKI;KOTAKE YOSHINORI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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