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发明名称 MAGNETRONZERSTÄUBUNGSQUELLE UND DEREN VERWENDUNG.
摘要
申请公布号 AT130465(T) 申请公布日期 1995.12.15
申请号 AT19940105388T 申请日期 1994.04.07
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRUENENFELDER, PIUS;HIRSCHER, HANS, DR., DIPL.-PHYSIKER;SCHWENDENER, URS;HAAG, WALTER, DIPL.-ING.
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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