| 发明名称 |
Method and apparatus for linear magnetron sputtering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU664995(B2) |
申请公布日期 |
1995.12.14 |
| 申请号 |
AU19920017970 |
申请日期 |
1992.04.16 |
| 申请人 |
SURFACE SOLUTIONS, INCORPORATED |
发明人 |
JOHN MARSHALL |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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