发明名称 Optisches Gerät für Weisslichtinterferometrie.
摘要
申请公布号 DE69109048(T2) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE1991609048T 申请日期 1991.09.30
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A., NEUENBURG/NEUCHATEL, CH 发明人 FALCO, LUCIEN, CH-2088 CRESSIER, CH;VOIRIN, GUY, CH-2000 NEUCHATEL, CH;PARRIAUX, OLIVIER, CH-1005 LAUSANNE, CH
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;G01D5/26;(IPC1-7):G01B5/26 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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