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发明名称 Verfahren zum Entfernen von organischem Material.
摘要
申请公布号 DE69023355(D1) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE19906023355 申请日期 1990.01.10
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 FUJIMURA, SHUZO, TOKYO 133, JP;SHINAGAWA, KEISUKE, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;HIKAZUTANI, KENICHI, KUWANA-SHI MIE 511, JP
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311;G03F7/36 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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