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发明名称 Verfahren zum Gasphasenabscheiden.
摘要
申请公布号 DE69114371(D1) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE19916014371 申请日期 1991.06.25
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 OHMINE, TOSHIMITSU, C/O INTELLECTUAL PROP. DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/18;(IPC1-7):C23C16/04;H01L21/00 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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