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发明名称 Verfahren zur Bildung einer Nitridschicht mit Benutzung von vorgewärmtem Ammoniak.
摘要
申请公布号 DE69205938(D1) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE19926005938 申请日期 1992.08.20
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 FILIPIAK, STANLEY M., PFLUGERVILLE, TEXAS 78660, US
分类号 C23C8/24;H01L21/285;H01L21/318;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;C23C16/34 主分类号 C23C8/24
代理机构 代理人
主权项
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