Verfahren zur Herstellung lagerstabiler Oberflächen von polierten Siliciumscheiben.,申请号DE19915006839-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung lagerstabiler Oberflächen von polierten Siliciumscheiben.
摘要
申请公布号	DE59106839(D1)	申请公布日期	1995.12.14
申请号	DE19915006839	申请日期	1991.06.11
申请人	WACKER-SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN MBH, 84489 BURGHAUSEN, DE	发明人	FABRY, LASZLO, DR., W-8261 EMMERTING, DE;GRUNDNER, MANFRED, DR., W-8263 BURGHAUSEN, DE;JOHN, PETER, DR., W-8263 BURGHAUSEN, DE;FEICHTNER, WOLFGANG, A-5122 ACH, AT;GRAEF, DIETER, DR., W-8263 BURGHAUSEN, DE;WINKLHARRER, ROSEMARIE, W-8261 MARKTL, DE
分类号	H01L21/306;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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