发明名称 Ultradichte DRAM-Zelle-Matrix und ihr Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE68922819(T2) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE19896022819T 申请日期 1989.08.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHIN, DAEJE, KONGNAMKU SEOUL, KR;DHONG, SANG H., MAHOPAC N.Y. 10541, US
分类号 H01L27/10;H01L21/3065;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/76 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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