发明名称 INTEGRATED SPM SENSOR AND ITS TEMPERATURE MEASURING CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07325092(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19940119407 申请日期 1994.05.31
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 MATSUYAMA KATSUHIRO
分类号 G01K7/18;G01B7/00;G01B7/16;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q70/08;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01K7/18
代理机构 代理人
主权项
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