发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07326595(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19940119113 申请日期 1994.05.31
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SARUWATARI MASARU
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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