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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07326494(A)
申请公布日期
1995.12.12
申请号
JP19930300979
申请日期
1993.11.04
申请人
NOBERASU SYST INC
发明人
JIEFURII SHII BENJINGU;ERIOTSUTO KEI BUROODOBENTO;JIEI KAAKUUTSUDO EICHI RAFU
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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