发明名称 PLASMA PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07326494(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19930300979 申请日期 1993.11.04
申请人 NOBERASU SYST INC 发明人 JIEFURII SHII BENJINGU;ERIOTSUTO KEI BUROODOBENTO;JIEI KAAKUUTSUDO EICHI RAFU
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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