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发明名称
INSPECTION APPARATUS OF EXTERNAL SHAPE OF PATTERN
摘要
申请公布号
JPH07324916(A)
申请公布日期
1995.12.12
申请号
JP19940121060
申请日期
1994.06.02
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
ISHIZAKA YUTAKA
分类号
G01B11/24;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
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