| 发明名称 |
PHYSICAL PROPERTY OF THIN FILM EVALUATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07325029(A) |
申请公布日期 |
1995.12.12 |
| 申请号 |
JP19940118992 |
申请日期 |
1994.05.31 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KIMURA MASATO;TSURUMI MASAAKI |
| 分类号 |
G01N19/04;H01L21/66;(IPC1-7):G01N19/04 |
主分类号 |
G01N19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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