发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07326616(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19940120073 申请日期 1994.06.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE YASUNARI;IZUMI TAKATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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