发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07326685(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19940118890 申请日期 1994.05.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TAMIO;OHASHI YOJI;KAWASAKI YOSHIHIRO;SHIMURA TOSHIHIRO
分类号 H01L23/12;H01L23/02;H01L23/04;(IPC1-7):H01L23/02 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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