发明名称 FORMING METHOD OF BONDED SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07326719(A) 申请公布日期 1995.12.12
申请号 JP19940117944 申请日期 1994.05.31
申请人 CANON INC 发明人 SAKAMOTO MASARU
分类号 H01L21/18;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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