| 发明名称 |
PROCESS OF MANUFACTURE OF SENSITIVE ELEMENTS OF SILICON STRAIN CONVERTERS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
RU1478913(C) |
申请公布日期 |
1995.12.10 |
| 申请号 |
SU19874199652 |
申请日期 |
1987.02.24 |
| 申请人 |
MIKHAJLOV P.G.;BELOZUBOV E.M.;ULYANOV V.V. |
发明人 |
MIKHAJLOV P.G.;BELOZUBOV E.M.;ULYANOV V.V. |
| 分类号 |
H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
