发明名称 METHOD OF CRYSTALLIZING SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07321034(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940138322 申请日期 1994.05.26
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KAMEDA MASAAKI;HARADA YASUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
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