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发明名称 CHEMICAL DELIVERY NOZZLE
摘要
申请公布号 JPH07321029(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940138153 申请日期 1994.05.27
申请人 MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUMOTO TOSHIHIRO
分类号 G03F7/16;B05B1/14;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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