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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07320676(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940108858 申请日期 1994.05.24
申请人 JEOL LTD 发明人 MIYATA TAKAHISA
分类号 H01L21/66;H01J37/147;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/147;H01L21/306 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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