FAILURE ANALYZER FOR IC AND CHARGED PARTICLE BEAM TESTER,申请号JP19940111214-传众专利搜索

发明名称	FAILURE ANALYZER FOR IC AND CHARGED PARTICLE BEAM TESTER
摘要
申请公布号	JPH07318619(A)	申请公布日期	1995.12.08
申请号	JP19940111214	申请日期	1994.05.25
申请人	ADVANTEST CORP	发明人	SHINODA SOICHI
分类号	G01R31/26;G01R19/00;G01R31/00;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利