发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07318617(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940115336 申请日期 1994.05.27
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TOZAKI KAZUO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L27/10;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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