发明名称 PATTERN INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07318507(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940138257 申请日期 1994.05.27
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 MIYAZAWA YOSHIFUMI;SAWA SHIGEKI
分类号 G01N21/88;G01N21/84;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址