PROBE CARD ALLOCATING APPARATUS,申请号JP19940132649-传众专利搜索

发明名称	PROBE CARD ALLOCATING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH07321167(A)	申请公布日期	1995.12.08
申请号	JP19940132649	申请日期	1994.05.23
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK	发明人	FUKAZAWA YUKIHIKO;MARUMO YOSHITO
分类号	G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01R1/073
代理机构		代理人
主权项
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