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发明名称
SUSCEPTOR FOR THIN FILM GROWTH
摘要
申请公布号
JPH07321043(A)
申请公布日期
1995.12.08
申请号
JP19940105301
申请日期
1994.05.19
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
MAEDA JUN
分类号
C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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