| 发明名称 |
MICRO-ACTUATOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07322649(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19940109660 |
申请日期 |
1994.05.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ITO TATSUO;UEDA MICHIHITO;YOKOYAMA KAZUO;MIZUGUCHI SHINICHI |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;G11B9/00;G11B9/14;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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