发明名称 FILMING LIQUID APPLYING APPARATUS AND APPLYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07320639(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940106451 申请日期 1994.05.20
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 YODA TERUBUMI
分类号 H01J9/227;(IPC1-7):H01J9/227 主分类号 H01J9/227
代理机构 代理人
主权项
地址