发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07321149(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940106548 申请日期 1994.05.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOSHIDA TAKAYUKI;HATADA KENZO;OTA TOSHIMICHI;SAKAI HIROYUKI;INOUE KAORU
分类号 H01L21/60;H05K1/02;H05K3/30;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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