| 发明名称 |
METHOD OF FORMING MICROMECHANISM STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07321345(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19950121879 |
申请日期 |
1995.05.19 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HANSUUPEETAA TORAA;FURANTSU RERUMAA;ANDOREA SHIRUPU |
| 分类号 |
G01P15/125;G01P15/08;H01L29/84;H01L49/00;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/125 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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