发明名称 LEAD FRAME APPEARANCE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07321171(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940129625 申请日期 1994.05.19
申请人 HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD;NISHIHARA RIKO KK 发明人 NISHIYAMA RYOYA;HAYASHI MAKOTO;NAGAI MASAMICHI;ISHIYAMA MASAAKI
分类号 H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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