| 发明名称 |
METHOD FOR CALCULATING CAPACITANCE COEFFICIENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07318601(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19940112352 |
申请日期 |
1994.05.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUJITA SHINICHIRO;NIIMI JUNICHI |
| 分类号 |
G01R27/26;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):G01R27/26 |
主分类号 |
G01R27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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