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发明名称
PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPH07318586(A)
申请公布日期
1995.12.08
申请号
JP19940116312
申请日期
1994.05.30
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
MOCHIZUKI YASUYUKI
分类号
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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