| 发明名称 |
REMOVING METHOD FOR CONTAMINANT SUBSTANCE GENERATED FROM CLEAN ROOM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07318128(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19910323611 |
申请日期 |
1991.10.03 |
| 申请人 |
DAN SANGYO KK |
发明人 |
KIKUCHI ISAMU;UEJIMA TSURUYA |
| 分类号 |
F24F7/06;B01D46/00;(IPC1-7):F24F7/06 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
