发明名称 ILLUMINATION OPTICAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07318847(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940134916 申请日期 1994.05.26
申请人 NIKON CORP 发明人 TANITSU OSAMU
分类号 G02B27/00;G03B27/32;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/00 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
主权项
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