发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH07321078(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940136477 申请日期 1994.05.26
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 MORITA ETSURO;ABE HIDENOBU;OKADA CHIZUKO
分类号 H01L21/304;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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