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经营范围
发明名称
METHOD OF ELECTRON BEAM EXPOSURE
摘要
申请公布号
JPH07321011(A)
申请公布日期
1995.12.08
申请号
JP19940110646
申请日期
1994.05.25
申请人
NEC CORP
发明人
TAMURA TAKAHISA
分类号
H01L21/027;H01J37/302;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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