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发明名称
FORMATION OF ELEMENT SEPARATION LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07321194(A)
申请公布日期
1995.12.08
申请号
JP19940288262
申请日期
1994.11.22
申请人
GENDAI DENSHI SANGYO KK
发明人
KAN CHIYUUSHIYU
分类号
H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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