发明名称 Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat.
摘要
申请公布号 DE69111770(T2) 申请公布日期 1995.12.07
申请号 DE19916011770T 申请日期 1991.11.14
申请人 FORD-WERKE AG, 50735 KOELN, DE 发明人 PLATTS, DENNIS R., LIVONIA, MICHIGAN 48152, US
分类号 C03C17/25;C23C18/12;(IPC1-7):C03C17/25;C03C17/34;C03C17/36 主分类号 C03C17/25
代理机构 代理人
主权项
地址