| 发明名称 |
Method and apparatus for irradiating low-energy electrons. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0468521(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.06 |
| 申请号 |
EP19910112602 |
申请日期 |
1991.07.26 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
YAMAZAKI, YUICHIRO;MIYOSHI, MOTOSUKE;OKUMURA, KATSUYA |
| 分类号 |
H01J49/08;G21K5/04;H01J37/02;H01J37/05;H01J37/073;H01J37/252;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/073 |
主分类号 |
H01J49/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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