| 发明名称 |
Manufacture of high accuracy T1R holograms for full-field lithography processes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2267356(B) |
申请公布日期 |
1995.12.06 |
| 申请号 |
GB19920005560 |
申请日期 |
1992.03.13 |
| 申请人 |
* HOLTRONIC TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
FRANCIS STACE MURRAY * CLUBE |
| 分类号 |
G03F7/20;G03H1/00;G03H1/26;(IPC1-7):G03H1/26 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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