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发明名称 Vaporized hydrogen silsesquioxane for depositing a coating.
摘要
申请公布号 EP0659904(A3) 申请公布日期 1995.12.06
申请号 EP19950103705 申请日期 1992.05.12
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 GENTLE, THERESA EILEEN
分类号 C01B33/12;B05D7/24;C09D4/00;C09D183/04;C23C16/00;C23C16/27;C23C16/40;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40;C01B33/00;C08G77/00 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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