发明名称 Process for fabricating a thin film transistor.
摘要
申请公布号 EP0457596(B1) 申请公布日期 1995.12.06
申请号 EP19910304428 申请日期 1991.05.16
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 TARUI, KEIJI;MORITA, TATSUO;TSUCHIMOTO, SHUHEI
分类号 H01L21/84;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/77;(IPC1-7):H01L21/84;H01L29/78 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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