CONSTANT TEMPERATURE CLEAN BENCH,申请号JP19770093570-传众专利搜索

发明名称	CONSTANT TEMPERATURE CLEAN BENCH
摘要
申请公布号	JPS5427770(A)	申请公布日期	1979.03.02
申请号	JP19770093570	申请日期	1977.08.04
申请人	TAKASAGO THERMAL ENGINEERING	发明人	HAYAKAWA TAKAHITO;KAWAMURA AKIRA;MASUDA TAKESHI
分类号	F24F7/06;H01L21/02;H01L21/302	主分类号	F24F7/06
代理机构		代理人
主权项
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