发明名称 Herstellung von Polymer-Metallverbindungen durch Abscheidung in Glimmentladungszonen
摘要
申请公布号 DE3716235(C2) 申请公布日期 1995.11.30
申请号 DE19873716235 申请日期 1987.05.12
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE 发明人 SUHR, HARALD, PROF.DIPL.-CHEM.DR.RER.NAT., 7400 TUEBINGEN, DE;FEURER, ERNST, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE;OEHR, CHRISTIAN, DIPL.-CHEM., 7403 REUSTEN, DE;ETSPUELER, ANGELIKA, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE
分类号 C08G85/00;C03C17/34;C04B41/49;C04B41/51;C08F2/52;C23C16/18;H05K3/14;(IPC1-7):C08F2/52;C08F30/04;H01B1/12;H01B5/14;H01L21/203 主分类号 C08G85/00
代理机构 代理人
主权项
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