申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE |
发明人 |
SUHR, HARALD, PROF.DIPL.-CHEM.DR.RER.NAT., 7400 TUEBINGEN, DE;FEURER, ERNST, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE;OEHR, CHRISTIAN, DIPL.-CHEM., 7403 REUSTEN, DE;ETSPUELER, ANGELIKA, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE |