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发明名称 Verfahren zur Behandlung zum Beispiel einer Substratoberfläche durch Spritzen eines Plasmaflusses und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
摘要
申请公布号 DE69203127(T2) 申请公布日期 1995.11.30
申请号 DE19926003127T 申请日期 1992.03.25
申请人 AGENCE SPATIALE EUROPEENNE, PARIS, FR 发明人 LANG, MARTIN HERMANN, SASSENHEIM, NL
分类号 C23C4/12;B05B7/22;H05H1/34;H05H1/46;(IPC1-7):B05B7/22 主分类号 C23C4/12
代理机构 代理人
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