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发明名称 CVD SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT.
摘要
申请公布号 EP0532758(B1) 申请公布日期 1995.11.29
申请号 EP19920904980 申请日期 1992.02.12
申请人 SEMICONDUCTOR PROCESS LABORATORY CO., LTD.;CANON SALES CO., INC.;ALCAN-TECH CO., INC. 发明人 MAEDA, KAZUO SEMICONDUCTOR PROCESS LAB. CO. LTD.;OHIRA, KOUICHI SEMICONDUCTOR PROCESS LAB. CO. LTD.;HIROSE, MITSUO
分类号 C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/12;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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