发明名称
摘要
申请公布号 JPH07111518(B2) 申请公布日期 1995.11.29
申请号 JP19860222565 申请日期 1986.09.19
申请人 发明人
分类号 G09F9/30;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/136;H01L21/320 主分类号 G09F9/30
代理机构 代理人
主权项
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