发明名称 SUBSTRATE CONVEYANCE SYSTEM, RESIST COATING/DEVELOPING APPARATUS USINT IT, AND ITS USAGE METHOD
摘要
申请公布号 JPH07312335(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940103552 申请日期 1994.05.18
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO
分类号 B65G49/00;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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